8月26日上午，2024年度上海市科学技术奖励大会举行，华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室曾和平教授领衔的“高稳定、高精度、高效率飞秒激光关键技术及装备研制”项目荣获2024年度上海市技术发明奖一等奖。

技术发明奖一等奖

项目名称：

高稳定、高精度、高效率飞秒激光关键技术及装备研制

完成人：

曾和平，闫明，胡梦云，尹建刚，郝强，罗文勇，巫礼杰，李文雪，彭俊松，杨康文，杜城，袁帅，郭政儒，杨川，罗大平

曾和平教授团队在大会现场

曾和平教授及项目组成员

    该项目针对飞秒激光稳定难、精度差、操控效率低的技术瓶颈，提出锁模孤子爆炸控制新机理，研发锁模自启动与长稳控制、时频与空间精密操控、大幅面调控等核心技术，研制高精度光梳光谱仪，在国际上率先实现了光梳光谱仪在野外苛刻条件下的应用。

     开发了首台实现量产的飞秒激光SiC晶圆隐形切割装备，划片速度1200mm/s，良率99.5%，大幅提升第三代半导体芯片制备效率，同步构建飞秒光梳、高功率飞秒激光器、飞秒光丝精密加工装备等系列产品，成果成功应用于航空航天、国家电网、第三代半导体晶圆与芯片加工等领域。